流體控制
流體控制是利用流體的各種控制元件(各種泵、閥門(mén)、油缸)及液壓系統附件(過(guò)濾器、管路接頭、液位計、壓力儀表等),組成控制閉式回路,以進(jìn)行自動(dòng)控制。
氣動(dòng)控制,動(dòng)作迅速、方便,使用的元件和工作介質(zhì)成本低,便于現有機器設備的自動(dòng)化改裝,已經(jīng)在國際上得到很大發(fā)展,成為熱點(diǎn)之一。
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體積流量的表示方法
對多數用戶(hù)而言,體積流量的表示方法很符合習慣﹑便于使用,但也有用戶(hù)需要知道單位時(shí)間內流過(guò)介質(zhì)的質(zhì)量(如g/min),這個(gè)要求是很容易實(shí)現的。因為標準狀態(tài)下的氣體密度是一個(gè)常數, 可以方便地查到,因而簡(jiǎn)單地做一個(gè)乘法(以密度乘以若干slm)即可實(shí)現。所以說(shuō),在標準狀態(tài)下的體積流量就等同于質(zhì)量流量。
需要注意的是, 被全世界質(zhì)量流量控制器廠(chǎng)商共同采用的sccm/slm這種質(zhì)量流量單位, 不符合國內計量標準的常用的質(zhì)量流量的國際單位(Kg/min), 但是它符合國際半導體協(xié)會(huì )制定的SEMI國際標準。
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使用質(zhì)量流量控制器注意事項
使用質(zhì)量流量控制器有四怕:
怕粉塵, 若粉塵進(jìn)入流量計會(huì )堵塞傳感器和分流器, 造成測量誤差, 要求在進(jìn)氣口前加裝過(guò)濾器;
第二怕液體和油污進(jìn)入MFC, 會(huì )造成失控, 如果MFC的出口接有液體罐, 需要在MFC出口加上單向閥, 防止液體回流;
第三怕使用潮濕的腐蝕性氣體, 潮濕的腐蝕性氣體會(huì )使不銹鋼生銹, 造成MFC通道損壞, 因此要求在使用腐蝕性氣體前, 要對氣體和MFC管路系統進(jìn)行干燥處理;
第四怕在使用強腐蝕性、有毒等危害性氣體時(shí)不按安全規則操作, 有可能造成產(chǎn)品損壞和其它更嚴重的損失。
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選擇產(chǎn)品和訂貨時(shí)應當注意什么?
這一點(diǎn)關(guān)系到用戶(hù)的切身利益,涉及的問(wèn)題也比較多,因而我們盡可能地給以祥盡﹑客觀(guān)的回答。
(1) 注意選擇正確的品牌
一般應當衡量生產(chǎn)廠(chǎng)家的產(chǎn)品質(zhì)量﹑銷(xiāo)售價(jià)格﹑售后服務(wù)﹑技術(shù)水平﹑產(chǎn)品特點(diǎn)﹑生產(chǎn)規模﹑企業(yè)信譽(yù)等因素。
(2) 注意選擇正確的量程
A. 將您需要的流量換算成標準狀態(tài)下的流量(質(zhì)量流量)。
B. 根據廠(chǎng)家提供的質(zhì)量流量轉換系數表,將您所用氣體的質(zhì)量流量值換算成與氮氣(標定氣體)等價(jià)的質(zhì)量流量值。如果您希望按您實(shí)際使用的氣體標定,請向廠(chǎng)家說(shuō)明。有關(guān)質(zhì)量流量轉換系數的問(wèn)題,以下還有進(jìn)一步解答。
C. 確定所需標準量程。廠(chǎng)家一般有自己的各種規格的標準量程,您實(shí)際使用的流量值應接低于某個(gè)標準量程值。標準量程的選取要避免過(guò)大或過(guò)小。質(zhì)量流量的誤差指標是按滿(mǎn)量程值的百分比規定的,如果實(shí)際流量較小而量程值選取過(guò)大,則測量值的相對誤差較大。
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